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CRF等离子火焰处理机对双陶瓷基片台构造有着汇聚等离子的作用

CRF等离子火焰处理机对双陶瓷基片台构造有着汇聚等离子的作用:
       金刚石有着高的硬度、热导率、化学稳定性以及光学透过率等物理和化学性能,这些优异性能,等离子火焰处理机使得金刚石在许多领域都可以作为一种理想材料。例如可以用作电子束引出窗口、高频高功率电子器件、高灵敏的表面声学波滤波器、切削工具等。

等离子火焰处理机

      射频CRF等离子火焰处理机化学气相沉积(MPCVD)法制备金刚石,MPCVD法制备金刚石的优势变得非常明显,世界高端金刚石基本上是通过MPCVD法制备的,与其他生长方法相比,MPCVD法具有无极放电、生长速度快、金刚石杂质少等优点,成为金刚石生长的理想方法。
       近年来,MPCVD技术取得了很大进展,对金刚石沉积工艺参数影响的研究已经趋于成熟,但对MPCVD装置谐振腔的研究还有待进一步深人。微波谐振腔是MPCVD装置中的核心部件,不同的射频等离子火焰处理机微波谐振腔构造会影响电场强度及分布,从而影响等离子状态,等离子火焰处理机对金刚石沉积质量和速率有相应影响。MPCVD装置微波谐振腔的构造研究对于金刚石生长方面是有着价值的。
      常用的MPCVD法生长金刚石所用的谐振腔有不锈钢板谐振腔式和石英钟罩式,石英钟罩式利于生长大面积的金刚石薄膜,但速率较慢且容易污染石英管,而不锈钢板谐振腔式设备则有着生长速率快的特点。

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